일반기술

전도성 극저마찰 및 고내구성 탄소박막 제조 기술

1. 기술의 개요 탄소박막은 다이아몬드 결정구조와 흑연 결정구조를 가지며, 다이아몬드 결정구조에서는 높은 비저항과 경도 및 고내구성을 가지는 반면에 흑연 결정구조에서는 비교적 낮은 비저항(1mΩ-cm)과 마찰계수를 가지는 반면에 쉽게 닿는다. 이러한 극단적인 두가지 성질을 카본 박막 합성시 다층박막 또는 복합화하여 각각의 장점을 최대한 확보하는 기술이 필요하다. 예를 들어 모터 브러쉬와 같은 곳에는 전기전도도가 좋아야 하면서 높은 내구성이 필요하다. 이는 흑연의 전도도와 다이아몬드의 높은 내구성을 동시에 만족시킬 수 있을 때 얻을 수 있다.2. 기술의 특징 카본박막을 합성할 때 합성 조건에 따라 다이아몬드 결정구조 비율이 높게 만들면 DLC(Diamond Like Carbon) 박막을 합성할 수 있을 뿐만아니라 흑연에 가까운 박막을 합성할 수도 있다. 그러나 DLC박막이 잘 만들어지는 조건과 흑연에 가까운 박막이 잘 만들어지는 조건을 기판에 인가하는 전압의 세기와 시간에 따라 제어함으로써 DLC박막이 합성되는 조건과 흑연이 합성되는 조건을 번갈아 가며, 합성함으로써 DLC의 장점이 고경도, 고내구성, 저마찰 특성을 만족시키면서 흑연의 장점인 전도성과 낮은 잔류응력 및 극저마찰 특성을 동시에 달성할 수 있다.