일반기술

정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자

1. 기술의 개요 극미세물질의 비열측정장치를 위한 실리콘니트라이드 박막형 마이크로칼로리미터 소자를 개발하였다. 본 기술은 소자의 구조 개선 및 새로운 소재를 사용함으로써, 비열 측정 시 불필요한 열전도에 의한 열손실을 줄여 20 K에서 800 K 에 이르는 넓은 온도 범위에 대해 전형적으로 5% 미만의 절대적 비열 측정 정확도를 제공할 수 있는 새로운 형태의 정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자 구조를 제시한다.2. 기술의 특징 마이크로칼로리미터는 통상적인 비열측정법으로는 불가능한 미세 단결정, 박막, 나노물질의 극히 작은 비열량의 측정을 가능하게 해준다. 개발된 마이크로칼로리미터는 실리콘 니트라이드 박막에 기반하였으며 적절한 구조 설계 및 재료 선택을 통해서 매우 작은 기판 비열 (addenda) 값을 가지며 시료 플랫폼의 온도 균질성이 향상되었다. 이를 통해 측정된 미세 시료의 비열측정값은 알려진 값에 대비하여 넓은 온도구간에서 5% 이내로 획기적으로 향상되었다.