일반기술

초고속 펄스-직류 마그네트론 스퍼터 코팅원에 의한 저온다결정 실리콘 및 고기능성 박막의 증착을 위한 스퍼터링장치

1. 기술의 개요본 기술은 초고속 펄스-직류 마그네트론 스퍼터 코팅원에 의한 저온 다결정 실리콘 및 고기능성 박막의 증착을 위한 스퍼터링 장치에 관한 것으로, 특히 액정표시장치의 스위칭 소자로서 동작하는 박막 트랜지스터의 액티브층을 형성하는 장치에 관한 것임.2. 기술의 특징본 기술은 고품질의 기능성 박막을 제조하기 위해 바디와, 바디와 절연물질로 절연되고 바디에 고정된 타겟과, 타겟에 전력을 인가하는 음극과, 바디의 외측에 형성되고, 타겟의 표면에 플라즈마를 발생시키는 내부 전자석과, 타겟의 표면에서 내부 전자석에 의해 발생한 플라즈마를 상기 타겟의 표면에 제한하는 외부 전자석과, 플라즈마 때문에 타겟에 발생한 열을 냉각하는 냉각부를 포함하는 마그네트론 코팅원과 전기적으로 독립되고, 펄스 직류전압을 인가받고, 상기 타겟과의 거리 조절이 자유로우며, 플라즈마에 의해 스퍼터된 상기 타겟의 입자를 가속시키는 이온 인출 가속장치와 스퍼터된 입자가 증착되는 시편을 포함하고, 소정 압력의 진공이 유지되는 반응기를 포함함.