일반기술
레이저 간섭계의 보정 시스템 및 그 방법
1. 기술의 개요본 기술은 적응형 보정 알고리즘을 이용하여 헤테로다인 레이저 간섭계(Heterodyne laser interferometer)의 비선형성 오차를 보정하기 위한 레이저 간섭계의 보정 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 정전용량센서의 위치 정보와 헤테로다인 레이저 간섭계의 위치 정보를 이용하여 최적의 보정 파라미터를 도출하고, 이를 바탕으로 헤테로다인 레이저 간섭계의 상황에 적응적인 보정 방식을 제공함으로써, 높은 측정 정밀도로 타겟을 측정할 수 있는 효과를 제공한다. 2. 기술의 특징타겟의 위치를 측정하는 레이저 간섭계, 기준값을 제공하는 기준값 발생부, 기준값 발생부의 기준값을 이용하여 레이저 간섭계의 측정값을 보정하기 위한 보정 파라미터를 출력하는 보정부, 보정부의 보정 파라미터를 이용하여 측정값을 보정하여 출력하는 맵퍼로 구성된다.
기술정보
- 기술분류
- 정보 > 기타 시스템 소프트웨어
- 보유기관
- 성균관대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-07-09
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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