일반기술

레이저 간섭계의 오차 보정 시스템 및 그 방법

1. 기술의 개요본 기술은 레이저 간섭계를 이용한 측정 시스템의 정밀도를 높이기 위한 레이저 간섭계의 오차 보정 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 레이저의 광 간섭을 이용하여 이동 타겟의 변위를 감지하는 간섭계, 간섭계의 광출력을 감지하여 변위를 측정하는 측정부 및 측정부에 의해 측정된 변위의 오차를 칼만 필터로 보정하여 출력하는 보정부로 구성된다. 2. 기술의 특징레이저의 광 간섭을 이용하여 타겟의 변위를 감지하는 헤테로다인 레이저 간섭계, 간섭계의 광출력을 감지하여 변위를 측정하는 측정부 및 간섭계에 영향을 미치는 환경오차로 인하여 측정부에 의해 측정되는 변위에 발생되는 변위 오차를 보정하여 출력하는 보정부를 포함하고, 간섭계는 제 1주파수 및 제 2주파수의 레이저광을 출력하는 레이저, 레이저의 광경로에 설치되어 제 1주파수와 제 2주파수를 분리해 주는 빔 스플리터, 빔 스플리터를 통과한 제 1주파수의 광경로에 설치되는 제 1쿼터 웨이브 플레이트, 제 1쿼터 웨이브 플레이트를 통과한 제 1주파수의 광경로에 이동 가능하게 타겟과 같이 설치되는 이동 거울, 빔 스플리터를 통과한 제 2주파수의 광경로에 설치되는 제 2쿼터 웨이브 플레이트, 제 2쿼터 웨이브 플레이트를 통과한 제 2주파수의 광경로에 고정 설치된 고정 거울을 포함하는 것을 특징으로 한다.