일반기술
중성빔을 이용한 플라즈마 발생장치 및 플라즈마 발생방법
1. 기술의 개요이온건의 구조를 변화시켜 동일한 가스 유량내에서 별도의 점화 장치없이 원활하게 플라즈마를 발생시킬 수 있는 플라즈마 발생장치 및 플라즈마 발생방법에 관한 것으로, 별도의 전원 장치가 필요하지 않으므로 이온건의 단가를 절감할 수 있다는 효과가 얻어진다. 2. 기술의 특징석영 컵으로 이루어진 플라즈마 발생부, 플라즈마 발생부의 외주에 마련된 RF인가용 안테나, 플라즈마 발생부의 외주에 마련된 냉각수 공급부 및 플라즈마 발생부와 직렬로 연통된 이그나이터를 포함하고, 플라즈마를 발생하기 위한 가스는 이그나이터로 공급되고, 이그나이터는 플라즈마 발생부보다 동일한 가스원의 유량에서 국부적으로 높은 압력을 갖는 구성을 마련한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 성균관대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-07-09
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.