일반기술
유브이 램프를 이용한 다결정 실리콘박막 제조장치 및방법
1. 기술의 개요상부에 성장기판이 안착되는 기판 지지대 상부에 자외선 광을 방사하는 유브이 램프(UV-LAMP)가 형성되어 방사된 자외선에 의해 기판의 박막 결정핵 형성을 조절하기 위해 자외선이 투과되어 집광되는 오목렌즈 형상의 집광부가 다수개 구비된 온도구배조절마스크 및 기판 지지대와 일정 거리를 유지하며, 유브이 램프 및 온도구배조절마스크를 고정시키고, 램프 이송 가이드부의 일측에 형성되어 이동하는 유브이램프(UV-LAMP) 이동수단을 구성되어 다면적의 결정화를 진행하는 것을 의미함.2. 기술의 특징ELA장비를 사용하지 않고, 유브이 램프를 이용하여 결정립을 얻음으로써 고속의 동작속도를 가지는 응용제품 개발과 아울러 고분자 플라스틱 기판위에 성장된 비정질 규소를 결정화 할 수 있으며, 고가의 로열티를 지불에 다한 국가경쟁력을 가질 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 성균관대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-07-09
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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