일반기술
고분자 압전필름을 이용한 체적탄성파 공진기의 제조방법
1. 기술의 개요본 기술은 고분자 압전필름을 이용한 체적탄성파 공진기의 제조방법에 관한 것으로, 제조공정 및 제품의 구조를 간결하게 할 수 있어, 제조비용과 시간을 현저히 절감시킬 수 있다. 2. 기술의 특징실리콘 기판 상부에 다수의 미세공이 형성된 쉐도우 마스크(SHADOW MASK)를 부착시킨 후 그 상면에 실리콘나이트라이드(SI3N4)를 증착시키는 공정과, 실리콘나이트라이드가 소결된 후 쉐도우 마스크를 제거함으로써 쉐도우 마스크의 미세공과 미세공 사이의 간극부에 의해 형성된 에어 갭을 갖는 지지층이 기판 상에 형성되도록 하는 공정과, 상,하부 전극을 갖는 고분자 압전필름층을 지지층의 상면에 접착시키는 공정 및, 상,하부 전극에 각각 골드와이어를 접착시켜서 기판위에 고정시키는 공정을 포함하는 제조방법에 의해 고분자 압전필름을 이용한 체적탄성파 공진기를 제조할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 성균관대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-07-09
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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