일반기술
진공관의 진공배기를 위한 진공배기장치 및 진공배기방법
1. 기술의 개요본 기술은 복수개의 진공관이 장착되어 10-8 TORR까지 배기 할 수 있는 주 진공배기라인과 진공용기의 진공도를 10-8 TORR로 유지하면서 각각의 진공관을 재 장착하여 연속적인 작업이 가능하도록 하는 보조 진공배기라인이 각각의 진공관 진공배기라인과 독립적으로 연결되어 있어서 진공배기공정의 소요시간을 단축할 수 있도록 한 진공관의 진공배기를 위한 진공배기장치 및 진공배기방법에 관한 것이다. 2. 기술의 특징진공용기의 진공도가 10-8 TORR일 때 진공관의 진공도가 10-7 TORR로 되도록 진공용기에서 진공관까지 진공배기라인을 형성한다. 상기 진공관의 진공배기공정에서 H2O 및 O2의 부분압력과 총압력(TOTAL PRESSURE)의 시간에 대한 변화를 측정하여 진공배기공정을 정량화함으로써 재현성있는 진공배기공정 조건을 제공하도록 한다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 성균관대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-07-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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