일반기술

삼극관 전계방출소자의 하부기판 및 그 제조방법

1. 기술의 개요본 기술은 탄소나노튜브를 구비하는 삼극관 전계방출소자의 하부기판 및 그 제조방법에 관한 것이다. 현재 사용하고 있는 액정화면디스플레이 백라이트는 냉음극 형광관을 발광체로 화면의 일부분에 위치시키고 투과성 재료인 도광판과, 빛을 화면에 골고루 분산시키고 집합시키기 위한 확산판, 프리즘을 사용하고 있다. 이러한 백라이트장치는 복잡한 구조와 높은 생산비에 비해 빛의 손실이 크고 화면 전체적인 휘도의 균일성을 얻기가 힘들다. 이에 따라, 탄소나노튜브를 사용하는 전계방출형 백라이트가 제안되었다.2. 기술의 특징유리기판위에 포토리소그래피를 사용하여 부분적으로 투명전극을 식각하는 과정과, 투명전극 식각후 유리기판을 소정 깊이로 과식각하는 과정, 과식각된 유리기판 부분에 게이트 금속을 증착하는 과정, 남아있는 투명전극 부분에 탄소나노튜브 에미터를 형성하는 과정을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 삼극관 전계방출소자의 하부기판의 제조방법을 제공한다.