일반기술
에어갭 타입 에프비에이알장치 및 그 제조방법
1. 기술의 개요본 기술은 박막 필터용 에어갭형 FBAR(film bulk acoustic resonator)에 관한 것으로, 구조적으로 간단하고 복잡한 기존의 공정을 단순화된 에어갭 타입 에프비에이알장치 및 그 제조방법에 관한 것이다2. 기술의 특징실리콘기판 위에 마그네슘의 희생층을 형성하는 제1단계, 마그네슘 희생층을 부분적으로 노출하면서 희생층 위에 실리콘나이트라이드 지지층을 형성하는 제2단계, 희생층을 노출하면서 지지층 위에 제1전극을 형성하는 제3단계, 희생층을 노출하면서 제1전극 위에 압전층을 형성하는 제4단계,희생층을 노출하면서 압전층 위에 제2전극을 형성하는 제5단계, 희생층을 에칭하여 에어갭을 형성하는 제6단계를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 성균관대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-07-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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