일반기술

모듈식 초대면적 플라스마 발생장치

1. 기술의 개요본 기술은 모듈식 초대면적 플라스마 발생장치에 관한 것으로서, 식각 기판이 장착되는 스테이지가 구비된 반응챔버와, 반응챔버 내에서 나란히 배치되어 있으며 일측은 전원에 타측은 접지되어 있는 다수의 안테나 봉과, 안테나 봉을 중심으로 양쪽에 각각 배치되는 자성체로 구성된 초대면적 플라스마 발생장치에 관한 것이다.2. 기술의 특징길이방향 양단에 관통공이 형성되어 있고, 내부에는 길이방향으로 홈이 형성되어 있는 조립 케이스과, 조립 케이스의 홈 위에 덮여진 쿼츠 창과, 조립 케이스의 관통공에 끼워져서 설치되는 안테나 봉과, 안테나 봉의 둘레에 진공 공간을 개재하여 설치된 수지관으로 구성되며, 반응챔버를 관통하여 설치되어 있는 안테나 조립체와, 길이방향 양단에 관통공이 형성되어 있고, 내부에는 길이방향으로 홈이 형성되어 있는 조립 케이스과, 조립 케이스의 홈 위에 덮여진 쿼츠 창과, 조립 케이스의 관통공에 끼워져 설치되는 자성체와, 자성체의 둘레에 진공 공간을 개재하여 설치된 수지관으로 구성되며, 반응챔버를 관통하여 설치되어 있는 자성체 조립체를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하므로, 부식가스에 의해 쿼츠 창이 손상되었을 경우에도 수지관에 의해 진공을 유지할 수 있어 그 기능의 연속성을 유지할 수 있으며, 교체 및 유지보수가 용이하다는 이점도 있다.