일반기술
다이아몬드상 카본코팅 박막 및 그 제조방법
1. 기술의 개요본 기술에 따른 다이아몬드상 카본코팅 박막장치의 제조방법에서는, 기판의 표면에 금속층을 증착한 후, 그 위에 비정질인 다이아몬드상 카본(이하, DLC이라함) 박막층을 증착함으로써 DLC 박막의 내부응력을 줄여서 기판과 박막간의 접착력을 향상시키는 효과를 기대할 수 있다. 2. 기술의 특징DLC 박막의 고유특성인 작은 마찰계수를 유지함으로써, 코팅막의 용도로 쓰일 수 있는 효과를 기대할 수 있다. 게다가, 비교적 간단한 제조 공정과 낮은 가격으로 증착할 수 있기 때문에 코팅막의 광범위한 실용화에도 기여할 수 있다. 끝으로, 실리콘 또는 금속 기판 외 코팅을 필요로 하는 실질적인 기타 모재에도 응용이 가능하다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 성균관대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-07-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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