일반기술
ＩＴＯ를 합성하기 위한 조성물을 형성하는 방법 및 그조성물로 합성된 ＩＴＯ를 패터닝하는 방법
1. 기술의 개요본 기술은 인듐 틴 옥사이드(INDIUM TIN OXIDE; ITO)를 합성하기 위한 조성물을 형성하는 방법 및 그 인듐 틴 옥사이드를 패터닝하는 방법에 관한 것이다. ITO 합성 조성물은 인듐-테르트 부톡시드(INDIUM TERT-BUTOXIDE)와 틴 테르트-부톡시드(TIN TERT-BUTOXIDE)를 전구체로 사용하고 1-벤조일아세톤(1-BENZOYLACETONE)을 안정화제(STABILIZER)로 사용하여 상대습도 5%이하의 글로브 박스에서 형성된다. 2. 기술의 특징종래의 조성물로 합성된 ITO에 비하여 전자빔(ELECTRON-BEAM)에 대한 민감도가 개선되며, 이로써 전자빔을 사용하여 본 기술에 따른 ITO를 패터닝하는 경우 10NM이하의 나노스케일 구조물(FEATURE)을 형성할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 정밀화학물질 기술
- 보유기관
- 성균관대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-07-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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