일반기술

화학 증착법을 이용한 얇은 다층탄소나노튜브 대량합성법

1. 기술의 개요본 기술은 담지체에 담지된 전이금속촉매를 보트 위에 올려놓고 상압 열화학기상법 (혹은 열분해법)을 이용하여 벽수가 2-10 개의 얇은 다층 탄소나노튜브를 대량으로 합성하는 방법에 관한 것이다. 본 기술의 일 관점에 의한 얇은 다층 탄소나노튜브 대량합성법은 전이금속촉매를 담지체에 담지하는 방법, 상압 열화학기상법으로 메탄기체와 에틸렌기체를 혼합하여 상기 탄소나노튜브를 대량으로 합성하는 방법, 일괄처리 공정을 연속적으로 수행하는 단계를 포함한다2. 기술의 특징공기분위기에서 높은 온도로 연소하는 연소법을 사용하여 제조한 FEMOMGO 촉매 위에 상압 열화학기상증착법을 이용, 벽 수가 2-10개인 얇은 다층 탄소나노튜브를 대량 합성하는 방법에 있어서, 제조된 FEMOMGO 촉매의 재산화 방지 목적으로 환원 과정과 나노튜브 합성 과정을 같은 챔버에서 연속 수행하여 나노튜브 수율을 증가시키는 것을 특징으로 한다.