일반기술

박막을 이용한 나노 패터닝용 파운틴 펜 및 그 제조방법

1. 기술의 개요본 기술은 박막을 이용한 나노 파운틴 펜 및 그 제조방법에 관한 것으로서,유체를 저장하는 메인 챔버와 메인 챔버와 유로를 통해 연결된 보조 챔버와, 보조 챔버의 상단에 설치되어 유체를 분출시키는 박막과, 박막을 구동하는 팁으로 구성되고, 팁의 상단은 박막과 연결되고, 팁의 하단은 보조 챔버의 바닥에 형성된 배출구를 통과하도록 하기 때문에, 별도의 액츄에이션을 위한 장치 없이 기계적 운동을 통한 박막의 변형을 통해 잉크 분출이 가능하고 그 크기 또한 나노 단위로 우수하다는 장점이 있다. 2. 기술의 특징나노 패터닝용 파운틴 펜에 있어서, 잉크 및 매개 물질을 저장하는 챔버와, 챔버 내의 압력 변화를 일으키는 박막과, 박막에 연결되어 있고, 챔버에 형성된 배출구와 간격을 두고 배치되는 팁을 포함하여 구성되어 있어, 팁의 이동에 의해 박막이 변형함에 따라 챔버 내부의 압력이 변화되어 잉크 및 매개물질이 팁으로 유동하는 것을 특징으로 하는 나노 패터닝용 파운틴 펜이다.