일반기술
마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용감지소자 및 제조방법
1. 기술의 개요본 기술은 압전 박막을 이용한 마이크로 압전 구동소자의 제작 및 이를 이용한 초소형 화학 센서에 필요한 감지소자의 제작방법에 관한 것이다.2. 기술의 특징본 기술에 따른 마이크로 압전 구동소자를 이용한 화학센서에 있어서, 압전 구동소자에 사용된 압전 재료의 역 압전효과를 이용해 소자를 공진주파수로 구동시키고, 소자위에 형성된 감지층에 감지 대상물질이 흡착되게 되어 소자 표면에 질량이 증가하게 되면, 소자의 공진주파수가 변화하며 이러한 공진주파수 변화를 센서의 감지 신호로 사용하는 것을 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 성균관대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-07-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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