일반기술
다층 감광막을 이용한 금속마스크 제작방법 및 금속마스크
1. 기술의 개요본 기술은 전주도금법을 이용하여 패키징 시 필요한 금속마스크의 제조 방법으로, 기존 공정의 금속마스크에 비해 피치의 크기가 200 ㎛이하, 높이차가 0.1 - 5 ㎜범위인 우수한 정밀도, 미세 피치를 가지는 금속마스크를 제조할 수 있다.2. 기술의 특징본 기술의 금속마스크 제작 방법에서는 전도성 기판에 제 1감광필름을 도포하는 단계와, 제 1감광필름 상에 제 2감광필름을 도포하는 단계, 포토리소그래피 공정을 이용하여 제 2감광필름을 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계, 포토리소그래피 공정을 이용하여 제 1감광필름을 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계, 전주도금을 이용하여 금속층을 형성시키는 단계 및 금속층을 전도성 기판으로부터 분리하는 단계를 포함한다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 성균관대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-07-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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