일반기술
개선된 반사체를 구비한 중성빔 식각장치
1. 기술의 개요본 기술은 극성을 갖는 이온빔을 추출하는 이온소오스, 이온소오스의 한쪽 단부에 위치하며, 특정 극성의 이온빔을 가속시키는 복수개의 그리드홀이 형성된 그리드 어셈블리를 구비한 중성빔 식각장치에 있어서, 그리드 어셈블리의 그리드홀에 대응하는 복수개의 반사체 홀 또는 슬릿부가 형성되어 있으며, 그리드홀을 통과한 이온빔을 반사체 홀 또는 슬릿부 내에서 반사시켜 중성빔으로 전환시켜 주는 반사체를 포함하여 이루어진다.2. 기술의 특징중성화 과정에서 가장 중요한 역할을 담당하는 부분인 반사체는 유리질 카본(glassy carbon)으로 이루어지거나, 반사체의 반사체 홀 또는 슬릿부 표면이 유리질 카본으로 코팅되거나 다이아몬드상카본(DLC)으로 코팅된 것을 특징으로 하는 중성빔 식각장치를 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 성균관대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-07-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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