일반기술

계면활성제를 이용하는 금속이 치환된 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법 및 이를 채용한 가스센서

○기술개요- 계면활성제를 이용하는 금속이 치환된 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법 및 이를 채용한 가스센서에 관한 것- 계면활성제를 이용하여 제조된 복합금속염화물-에탄올 전구체 용액을 기질 표면상에 코팅 열처리하여 복합금속산화물 박막을 제조함으로써 유독 가스에 대한 감도(Sensitivity) 및 선택성(Selectivity)이 뛰어난 넓은 표면적의 금속이 치환된 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법 및 이를 채용한 가스센서에 대한 것○발명의 효과- 종래의 센서 제조 방법에 비하여 귀금속 량을 1/10 이하로 줄일 수 있음- 제조 공정이 간단하고 유해가스, 특히 CO에 대한 선택성과 감지능(S=4500)이 뛰어남- 계면활성제를 이용함으로써 가스와 금속산화물인 기질 사이의 접촉면적을 최대화하고, 스프레이 열분해에 의한 새로운 코팅방법을 적용함으로써, 열처리 온도를 낮추어 수 나노미터 크기의 입자를 갖는 균일한 나노세공형 결정성 복합금속산화물 박막을 얻을 수 있음- 낮은 온도에서 상기 결정 입자를 소결함으로써 유리 또는 세라믹 등 다양한 기질 표면에 코팅할 수 있을 뿐만 아니라, 저렴한 가격으로 제조할 수 있음