일반기술

평판 표시 소자 제조에 사용되는 상압 플라즈마 식각 장치

본 기술은 TFT-LCD와 같은 평판 표시 소자 제조에 사용되는 기판을 플라즈마를 이용하여 식각하는 장치이다. 식각 공정이 다른 공정과 인라인으로 진행될 수 있도록 기판이송부가 제공되며, 상압에서 플라즈마가 안정하고 균일하게 발생될 수 있도록 글로우 방전을 유도하기 위해 상부전극의 아래에 절연판이 제공되고, 공정진행시 가스의 온도를 낮추기 위해 비반응성 가스가 공급된다. 본 기술은 상압에서 플라즈마를 이용하여 평판 표시 소자 제조에 사용되는 기판을 식각하는 장치에 있어서, 하부전극과, 하부전극과 일정 간격 이격되어 이와 대향되도록 배치되는, 그리고 하부전극과 마주보는 하부면에 뾰족한 복수의 돌기들이 형성된 상부전극과, 상부전극 아래에 배치되며 복수의 돌기들을 포함하여 상부전극의 하부면을 감싸는 절연판과, 절연판과 하부전극 사이에 플라즈마가 발생되도록 상부전극에 전원을 공급하는 전원공급부와; 그리고아크 방전이 발생되는 것을 방지하기 위해 절연판과 하부전극 사이의 영역 내로 비반응성 가스를 공급하는 비반응성 가스 공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다.