일반기술

대기압 리모트 플라스마를 이용한 고밀도 플라스마발생장치

본 기술은 서로 일정간격 이격되어 대향되도록 배치되는 좌측전극과 우측전극을 구비하고 미세 스트리머 또는 아크와 같은 전기적 충격으로부터 안전한 고밀도 플라스마 발생장치에 관한 것으로, 플라스마 발생부가 처리가스를 공급하는 처리가스 공급부, 처리 가스의 흐름 방향에 수직으로 배치되는 제1의 전극, 제1의 전극과 일정 간격 이격되어 대향 배치된 제2의 전극, 제1의 전극 및 제2의 전극에 의해 형성된 고밀도 플라스마를 배출하는 플라스마 배출구를 포함하고, 플라스마 배출구에는 플라스마를 배출하기 위한 다수의 홀이 마련되고, 제1의 전극에는 고전압을 공급하는 전원공급부가 연결되고, 제2의 전극은 접지에 연결되며, 제1의 전극의 표면은 돌기부로 이루어지고, 돌기부의 표면에는 절연물질이 코팅되는 구성을 마련한다. 고밀도 플라스마 발생장치를 이용하는 것에 의해, 상압 상태에서 대면적 플라스마를 발생시키고, 소량의 식각 가스를 사용하여 공정을 수행함으로써 환경오염을 줄일 수 있다.