일반기술

다이아몬드상 카본 코팅 장치 및 그 제조방법

본 기술은 다이아몬드상 카본 필름(Diamond Like Carbon Film: 이하 "DLC 필름"이라 함)을 코팅하는 장치 및 그 코팅 방법에 관한 것이다.플렉시블 기판을 공중에 지지하는 수단, 지지 수단이 설치된 진공 챔버, 진공 챔버의 내부를 코팅에 적합한 진공 상태로 유지시키는 진공 수단, 가스공급 수단, 진공 챔버 내의 지그에 접속되어 각각 다른 수치의 전류를 인가하여 불균일하게 플라즈마 자장을 형성하도록 하여 비대칭 마그네트론(Closed Field Unbalanced Magnetron) 필드를 형성하도록 하는 전원 공급수단 및 플렉시블 기판 위에 소정의 원소로 된 다이아몬드 상 카본 필름을 적층하는 적층 수단으로 구성을 마련한다. 플렉시블 기판 DLC 필름 코팅 장치 및 그 방법은 기본의 화학기상성장법(CVD) 종류가 아닌 상온에서 증착이 가능한 스퍼터 공정을 이용하며, 플렉시블 기판에 대해 열과 플라즈마의 영향을 최소화하기 위해 단시간 증착을 하며, 비대칭 마그네트론 스퍼터 공정으로 대면적 증착과 높은 증착율에 의한 균일 증착이 가능하기 때문에 산업화 응용에 더욱 효과적이다. 본 기술의 또 다른 효과는 플렉시블 기판위에 DLC 필름을 코팅하여 마모나 부식에 의한 영향을 줄이는 것이다.