일반기술
비정질 실리콘 박막의 결정화 방법
본 기술은 촉매 금속을 이용한 비정질 실리콘 박막의 결정화 방법에 있어서 비정질 실리콘 박막이 증착된 기판을 저온 상태에서 촉매 금속을 포함하는 용액으로 코팅한 후 이를 열처리하여 비정질 실리콘 박막을 결정화 하는 방법에 관한 것으로, 촉매 금속을 포함하는 금속 용액을 제조하는 제1단계, 제1단계에서 제조된 금속 용액으로 비정질 실리콘 박막이 증착된 기판을 코팅하는 제2단계 및 제2단계에서 코팅된 기판을 열처리하여 비정질 실리콘 박막을 결정화하는 제3단계를 포함한다. 촉매 금속을 이용한 비정질 실리콘 박막의 결정화 방법을 이용하는 것에 의하여 종래의 결정화 방법과 비교하여 결정화 과정이 현저하게 단순해지고 그 결과 제품의 생산 수율을 향상시킬 수 있으며, 제품의 생산 비용 저감 및 기판의 변형이나 손상을 방지할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 성균관대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-07-16
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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