일반기술

플라즈마디스플레이패널의미세격벽제조방법

본 기술은 플라즈마 디스플레이 패널의 미세격벽 제조방법에 관한 것이다.종래 플라즈마 디스플레이 패널의 미세격벽 제조방법은 유리분말에 의한 소결법에 의하여 기공이 남게 되어 플라즈마 디스플레이 패널의 특성이 저하되는 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 기술은 소다회 유리기판의 상부에 하지층을 형성하고, 그 하지층의 상부에 은전극을 형성한 다음, 적심성과 접합특성이 우수한 유리분말을 도포하는 유리분말 도포단계와, 유리분말의 상부에 연화점이 상대적으로 높고 강산에 대한 에칭특성이 우수한 유리판을 적층한 후 압력과 열을 가해 유리분말과 유리판을 소결 및 접합하여 백색유전막과 그 상부에 격벽용 유리판을 접합하는 소결단계와, 포토레지스트 패턴을 이용하여 격벽용 유리판의 일부영역을 선택적으로 노출시킨 후, 희석된 강산으로 그 하부의 백색유전막이 노출될 때까지 에칭하여 격벽을 형성하는 에칭단계를 포함하여 유리후막을 격벽용 유리판을 적층한 후 소결하여 형성함으로써, 격벽용 유리후막에 내부 기공이 발생하는 것을 방지하여 소자의 특성을 향상시키는 효과와 아울러 백색유전막을 유전체로 사용함과 아울러 그 백색유전막을 적심성이 우수하고, 접합특성이 우수한 것을 사용하여 상대적으로 낮은 온도에서 소성 및 격벽용 유리후막판을 접합함이 가능하여 기판의 변형을 방지하는 효과가 있다.