일반기술
초점이 형성된 레이저를 이용한 굽은 경질 표면의 평탄화 방법
본 기술은 초점이 형성된 레이저를 이용한 굽은 경질 표면의 평탄화 방법으로서, 렌즈에 투과되어 초점이 형성된 레이저 빔을 평탄화시키려는 물질의 표면 중 높은 부위에 위치시키고, 표면 전체에 주사하여 평탄하게 한 후, 레이저의 초점을 낮은 부위 쪽으로 점진적으로 이동시키며 레이저 빔을 주사하여 평평도를 증가시키는 경질 표면의 평탄화 방법이다. 본 기술에 의하면 다이아몬드, C -BN, B 4 C와 같이 단단한 물질의 표면을 연마하여 웨이퍼 형태로 용이하게 가공할 수 있으며, 표면이 부분적으로 돌출한 경우 뿐만 아니라 표면이 전체적으로 곡률을 가지고 굽어 있는 경우에도 본 기술을 적용할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 정보 > 기타 정보
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-07-21
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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