일반기술

휘발성 β-디(알콕시카르보닐)레이트의 유기 금속 전구체 및 이를 이용한 산화금속 박막의 제조 방법

본 기술은 음이온 킬레이트 리간드로서, 말론산에스테르의 짝염기인 β-디(알콕시카르보닐)레이트를 포함하는 신규한 휘발성 유기 금속 전구체 및, 이 유기 금속 전구체를 화학 증착에 이용하여 해당 산화금속 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다.본 기술에 의한 유기 금속 전구체들은 기존의 전구체들에 비해 휘발성이 뛰어나고 대기 및 열안정성도 비교적 좋으며, 특히, 본 발명에 의한 β-디(알콕시카르보닐)레이트 유기 금속 전구체가 기존의 불화물 곁가지를 가진 β-디키토네이트 유기 금속 화합물과 구별되는 우수성으로는, 불소를 포함하고 있지 않으므로 기판에 증착 및 열분해후에도 불화금속염(MFx , M은 +x가의 양이온) 불순물에 의한 막의 오염에 대한 염려가 전혀 없다는 점과, 기상 반응및 기타의 방법에 의한 기능성 복합 산화물 분말 제조에 사용하여도 불화염 불순물에 의한 오염이 없다는 점, 그리고 값비싼 불화물 곁가지를 가진 β-디키톤 리간드를 사용하지 않아 경제적이면서도 전구체의 휘발성이 우수하다는 점 등을 들 수 있다. 또한, 디키토네이트류의 리간드에 비해 분해 온도가 낮아서 분해를 위해 수증기를 함께 흘려 넣어 주는 등의 첨가적인 과정을 필요로 하지 않는 등의 장점이 있다