일반기술

화학적 기계적 연마의 폐수 처리 방법

본 기술의 화학적 기계적 연마의 폐수 처리 방법은 화학적 기계적 연마의 폐수에 현탁되어 있는 SiO 2 미립자를 제거하기 위하여 칼슘화합물, 양이온 고분자응집제, 알룸, 및 음이온 고분자응집제를 투입하여 폐수와 응집제를 교반하되, 교반 속도 또는 교반 시간을 차별화하는 것이다. 본 기술에 의하면, 크기가 크고 점착도가 낮은 SiO 2 미립자응집체를 형성시킬 수 있으므로, 화학적 기계적 연마의 폐수에 포함되어 있는 SiO 2 미립자를 단층 여과막으로 쉽게 분리할 수 있으며, 여과막을 짧은 시간에 역세척할 수 있다.

기술정보

기술분류
환경 > 기타 환경오염제어·관리 기술
보유기관
한국과학기술연구원
기술유형
일반기술
등록일
2008-07-21
데이터 갱신일
정보 없음

상세설명

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