일반기술
박막형 전계 발광 소자의 제조를 위한 비정질 강유전성 절연막의 증착 방법
본 발명은 평면형 전계발광소자(Electroluminescent disp ay :ELD)의 작동을 위하여 사용되는 산화물 절연막을 비정질(amorphouse)로 하여 증착온도를 낮추어 ITO와 증착 산화물 간의 계면 반응을 억제하고 또한 비정질 막의 고유한 특성인유전강도의 증가와 소자로서 이용되었을 때 투명도의 증가를 도모하는 비정질 강유전성 절연막의 증착과 사용에 관한 것이다.계면층에 의한 빛의 산란이발생하지 않으므로, 광학적 특성의 향상을 기대할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-11-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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