일반기술

광학창 교체 장치가 구비된 광화학기상증착 장치 및 광학창 교체 방법

본 기술은 광학창 교체장치가 구비된 광화학기상증착장치 및 광학창교체방법에 관한 것이다. 본 기술의 일 실시예에 따른 광학창 교체장치가 구비된 광화학기상증착장치는, 취기구, 배기구, 기판 가열지지대 및 가열히터가 구비되고 상단에 광학구멍이 형성되며 증착반응을 수행하기 위한 반응실이 형성되고, 취기구 및 배기구와 상단에 광 통과구가 구비되며 광학창 이송수단에 의해 이송된 광학창의 탈장착이 수행되는 광학창 고정실, 광학창 고정실의 광 통과구 상부에 부설되어 광화학기상증착반응을 위해 필요한 에너지를 지닌 광을 광 통과구에 장착된 뷰 포트를 통해 반응실 내부로 조사하기 위한 광원, 광학창 고정실과 횡방향으로 일체로 연장 형성되고 취기구 및 배기구와 하단에 광학창 교체를 위한 개폐구가 구비되며 광학창 이송수단에 의해 이송된 흐려진 광학창과 세정된 광학창의 교체가 수행되는 광학창 교체실, 광학창 고정실과 광학창 교체실의 사이에 설치되어 광학창 고정실과 광학창 교체실을 연통 또는 격리시키기 위한 개폐수단, 광학창이 장착되어 광학창 교체실과 광학창 고정실을 왕복하면서 광학창을 이송하며 반응실의 광학구멍 상에 광학창을 탈장착하기 위한 광학창 이송수단 및, 광학창 이송수단과 연결되어 광학창 이송수단이 광학창 교체실과 광학창 고정실 내에서 왕복하도록 구동력을 제공하기 위한 구동수단을 포함한다.