일반기술

유도결합 플라즈마법 및 유기금속 화학기상증착법을 이용한박막 제조방법

o 기술 개요유도결합 플라즈마(ICP)법 및 유기금속 화학기상증착(MOCVD)법을 이용한 박막 제조방법을 제공한다. 상기 제조방법은 유도결합 플라즈마 장치를 이용하여 고밀도 플라즈마를 발생시키고, 유기금속 화학기상증착 장치 내에 유기금속을 분사하여 박막을 형성하는 방법이다. 유도결합 플라즈마(ICP) 장치가 결합되어 있는 유기금속 화학기상증착(MOCVD) 장치를 이용하여 증착함으로써 고품질의 단결정 산화아연 박막을 제조하는 이점을 제공한다. 또한, 상기 단결정 산화아연 박막의 증착시 불순물의 주입 조절이 용이하여 발광다이오드(LED) 또는 레이저 다이오드(LD) 등과 같은 단파장 광소자에 쉽게 응용되는 이점을 제공한다.o 기술특징 및 효과- 증착시 불순물의 주입 조절이 용이하여 발광다이오드(LED) 또는 레이저 다이오드(LD) 등과 같은 단파장 광소자에 쉽게 응용 가능