일반기술
램프 가열 및 회전식 기판을 이용한 박막 제조 방법 및 장치
발명은 저압화학증착법, 플라즈마화학증착법 또는 스퍼터링으로 금속, 반도체, 유전체의 비정질(amorphous) 또는 미세구조(micro crystalline) 박막을 저온에서 증착한 후 동일 증착장치내에서 바로 열처리를 수행하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로, 특히 금속, 반도체 또는 유전체 박막의 증착과 열처리를 반복하면서 다층구조(multilayer)의 박막을 제조하거나, 비정질 혹은 미세구조의 박막을 다결정(polycrystalline)이나 단결정(single crystalline) 박막으로 변환시켜결정성(crystallinity)을 향상시킨 램프가열 및 회전식 기판을 이용한 박막제조방법 및 이에 적합한 장치에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 전기·전자기 기능재료
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-11-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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