일반기술

Chattered 0.25um 입출력 보호를 위한 정전기 보호회로(1)

본 기술은 아날로그/디지털 입출력 회로를 위한 Chattered 0.25um 공정을 사용한 정전기방지보호소자이다. 본 기술에서 사용된 회로는 저면적 대비 높은 ESD 성능을 나타내는 SCR타입의 ESD 소자를 사용하였다. 소자의 성능에 대한 지표는 측정을 통해 증명하였다. 측정 지표로는 HBM(Human Body Model), MM(Machine Model) ,IEC61000-4-2 표준 ESD Pulse를 사용하였고 커브트레이서(Curve Tracer)를 통해 DC상에서의 전기적 특성 -Vt, Vh, IT2-을 확인하였다. 측정 결과 트리거 전압 5.8V, 전류는 50mA이고 홀딩전압은 2V 전류는 50mA 이며 Leakage Current는 1uA 이하였다. 감내특성은 HBM 8kV, MM 350V이다. Voltage domain : 1.8V - 3.3V for I/O Clamp. 1.8V - 2.5V for Power Clamp면 적 : 2800 um2Low leakage during normal operation : below 1nA (@25oC, @3.3V)High ESD robustness : IEC61000-4-2: 2kV( Calibrated IT2: 7.5A ), above HBM 8kV(test limited), MM 350V The ESD Protection library provides the layout file as GDS-II format