일반기술

탄소나노튜브 네트워크 위에 형성된 금속 박막 구조의 금속 마이크로 역학적 구조와 진동자에 대한 기술

본 기술은 금속박막내에 탄소나노튜브 (Carbon Nanotube Network template (CNTnt))을 첨가시킨 금속-탄소나노튜브인 이중층 복합체를 제조하는 방법 및 그 방법에 의한 구조에 관한 것이다. 보다 구조에 관한 상세한 설명으로는 금속-탄소나노튜브의 이중층 적층구조로 이루어진 현수되는 이중 고정보 (suspended doubly-clamped beams)의 구조와 이를 실현할 금속-탄소나노튜브 복합체 및 이를 실현할 제조방법을 포함한다. 본 기술은 금속-탄소나노튜브 이중층 복합체가 이 복합체를 이루는 금속보다도 높은 영률(young's modulus)을 가진 것을 특성으로 하며 또한 이로 이루어진 현수된 마이크로 역학적 구조(Suspended micromechanical mechanical structure )의 영률과 이로 기인한 금속으로 이루어진 마이크로 역학 구조의 진동수보다도 높은 진동수를 가짐을 특징으로 고주파 진동 소자로 우수한 특성을 가진다.