일반기술
광전자 발진기를 이용한 미세변위 측정장치
반도체 리쏘그래피 등에서 마스크의 미세정렬을 위해서는 나노미터 수준의 변위(길이변화) 측정이 필요하다. 본 기술에서는 마이켈슨 간섭계를 포함하는 광진자발진기를 이용한 변위측정장치를 제안한다. 첨부한 그림 1에 보인 바처럼, 이 장치에서는 주파수가 다른 두 광선이 간섭계의 두 경로를 따라 진행한 후 다시 결합하여, 경로차에 따른 위상차를 측정하고, 이 위상차가 광전자발진기의 발진 주파수를 결정한다. 변위가 주파수 변화로 나타나는 특징을 갖는다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-09-19
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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