일반기술
전자현미경 개발 기술
전자현미경은 나노 크기의 미세한 형상을 측정하는 현미경이다. 전자빔을 이용하여 시편에 주사하여 발생하는 이차전자를 포집하여 물체의 형상을 측정하는 장비이다. 전자빔을 집속하기 위한 전자기렌즈의 제어 및 렌즈 형상 설계, 가속전압 등이 집속빔이 크기를 좌우하며 집속빔 크기가 작을수록 미세 형상을 더 용이하게 관찰할 수 있다.핵심기술 -전자기 렌즈 설계 및 제작 기술 -경통 제작 기술-고속 스캔 기술-고정밀 제어기 제작 기술-이미지 처리 기술연구개발 동향 -미국이나 일본이 전자현미경 시장 독점 -국내 소수의기업에서 개발 진행 중 활용여부 -국산화하여 국내 제작 가능하도록 추진향후 경쟁기술 -전자현미경 응용기술-lithography 제작 기술 -고해상도 (300,000배) 구현 기술
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-09-19
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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