일반기술

기체 유동 제어장치

본 발명에 따른 기체유동제어장치는, 외부 기체를 공간 내부로 공급하기 위한 공급관과, 상기 공급관에 설치된 밸브와, 상기 밸브로부터 공급되는 외부의 기체를 공간 내에서 유동시키기 위한 다수의 송풍팬과, 상기 송풍팬으로부터 공급되는 기체의 불순물을 여과시키기 위한 필터와, 상기 공간 내의 기체를 외부로 배출하기 위한 도어와, 상기 다수의 송풍팬을 제어하기 위한 제어부를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 다수의 송풍팬 중 바닥을 기준으로 낮은 위치에 배치된 송풍팬보다 높은 위치에 배치된 송풍팬이 보다 강하게 구동되도록 제어하는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 제어부는, 상기 도어가 개방되어 상기 공간 내부의 기체가 외부로 배출될 경우, 본 도어에 가까이 배치된 송풍팬보다 먼 거리에 배치된 송풍팬이 보다 강하게 구동되도록 제어한다. 이에 의해, 크린 룸과 같은 특정 공간 내부의 불순물을 바닥부로 강제 유동시켜 불순물 유동을 억제시킴으로써, 본 공간 내부를 보다 청정한 상태로 유지시킬수 있으며, 기체 배출을 위한 도어 부근의 기체유동속도를 감소시킴으로써, 외부로부터 상기 공간 내로 불순물이 유입되는 것을 방지할 수 있다.