일반기술

투명 압전 소자 및 그 형성방법

본 발명은 유리 기판위에 AZO, GZO, BZO, IZO, ITO 등의 투명 산화물 전극을 상하부 전극으로 사용하여 AlN 박막의 투명한 압전 구조물을 제작 하는 것으로, 일반적인 압전 재료를 이용한 소자 제작과는 달리 투명한 산화물 전극을 기반으로 구성되어 광학적으로 투명한 구조물 제작하는 방법이다.투명 압전 구조물은 향후 소자 적용에 있어서 투명센서, 투명 RFID 태그, 투명 SAW 필터, 투명 안테나, 터치스크린 등에 적용 가능한 구조물이다. 또한 기존 압전체를 활용한 응용분야 또한 확대되어질 것이다. 투명전자소자를 이용한 스마트 창, 스마트 쇼 윈도우, 투명 네비게이터 등 투명 IT 전자기기는 2010년부터 시장을 형성하여 2015년에 200억 달러 규모로 급성장될 것으로 예측된다.(출처:DisplaySearch 2005. 3, CLSA, Deutsche Bank, LG전자 자체 분석)투명전자소자는 차세대 반도체소자로 분류된 여러 소자 중에서도 가장 쉽게 기존의 반도체 인프라를 이용하여 개발될 수 있는 전자소자이기 때문에 발전 속도가 매우 빠르다. 또한 기존의 부품과는 다른 새로운 시장을 개척 할 것으로 예측되기 때문에 소재기술, 소자기술, 부품기술이 중요하다고 예측된다. 산화물 전극을 이용한 투명 압전구조물 을 기반으로 제조된 투명 압전소자는 RFID태그, SAW, 터치스크린 등의 투명 전자 기기를 구현 할 수 있으며 향후 유비 쿼터스 환경에서 적합한 소자기술로서 기존 부품과는 다른 새로운 시장을 개척할 것으로 예상된다. 투명 산화물 전극 을 상하부 전극으로 사용하여 AlN 박막의 투명한 압전 구조물을 제작 하는 것으로, 일반적인 압전 재료를 이용한 소자 제작과는 달리 투명한 산화물 전극을 기반으로 광학적으로 투명한 구조물 제작하는 방법이다.