일반기술

적외선 영상기법을 이용한 박막의 균질도 검사 장치 및 그 방법

특허출원번호:2002-0028512본 발명은 비파괴적인 방법으로 박막의 2차원적 불균질성을 시각적(영상화)으로 분석할수 있고, 영상처리를 통해 광원세기의 분산에 관계없이 박막만의 영상을 추출할 수 있는 적외선 영상기법을 이용한 박막의 균질도 검사 장치 및 방법을 제공하고자 하는 것으로, 이를 위한 본 발명의 박막의 균질도 검사 장치는, 광원세기 콘트롤러; 적외선을 발생하는 광원발생수단; 샘플에 광의 세기를 귤질하게 조사하도록 하는 광분산수단; 샘플을 통과한 적외선을 취득하기 위한 카메라 수단; 및 취득된 아날로그 영상신호를 디지털 영상신호로 변환하고 처리하는 처리수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하며, 본 발명의 박막의 균질도 검사 방법은, 샘플 위치에 기판만을 위치시켜 광원의 2차원적 세기분산을 영상화하고 제1영상을 얻는 단계; 상기 샘플 위치에 박막이 증착된 기판을 위치시키고 제2영상을 얻는 단계; 박막에 의한 영상만을 구하기 위해 A와 B의 차영상을 구하는 단계; 및 상기 차영상에 영상 컨트래스드 증강 또는 특징추출의 영상처리를 이용해 상기 박막의 균질성에 대한 정보를 구하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.