일반기술

저전압 구동의 플렉서블 유기 박막 트랜지스터의 제조방법

본 기술은 유기 박막 트랜지스터의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 경제적인 롤투롤 방식으로 게이트전극을 형성하는 유기 박막 트렌지스터의 제조방법에 관한 것이다. 본 기술에 따른 유기 박막 트렌지스터는 플레서블 기판위에 라미네이션(lamination) 공정과 전해연마(electro-polishing) 공정을 이용하여 게이트 전극을 형성시킨 후, 게이트 절연층, 유기 활성층 그리고 소스/드레인 전극을 형성되어 제조된다. 본 기술에서는 상업적으로 값싸게 생산되는 알루미늄 호일을 프렉서블 기판위에 롤투롤(roll-to-roll)방식의 라미네이터(laminator)을 이용하여 게이트전극의 밑바탕을 형성시킨 후 표면의 거칠기(roughness)를 줄이는 전해연마처리를 수행하는 것을 특징으로 한다. 그리고 저전압에서 구동하기 위해 게이트 절연층의 높은 전기용량(capacitance)을 확보하는 방법을 포함한다.