일반기술

회전 측정용 전기적 용량 센서

본 기술은 마주보는 대상 구조물들의 평면방향의 병진 움직임들과 상관없이 두 시스템 구조물 간의 상대적 요우(yaw) 방향 회전각을 측정하기 위한 것으로, 이를 위한 본 발명은, 교류 전원을 공급하는 교류 전원부와, 상기 교류 전원에 의해 전기장 전극을 발생하는 전기장 발생부와, 상기 발생된 전기장 전극에 대응하는 전기장 대응부와, 상기 전기장 발생부 및 전기장 대응부 사이에서 전기적 용량 변화를 확인하기 위해 전기적 신호로 변환하여 출력하는 신호 검출부를 포함한다. 따라서, 시스템의 수평운동과 관계없이 시스템의 요우 방향의 회전을 측정할 수 있다. 또한, 본 기술은 회전 중심 및 초기 위치에 영향을 받지 않으므로 센서 초기 위치 설정에 큰 어려움을 갖지 않으며, 센서에 포함된 두 평판의 전극 교차각을 작게하고 다수의 전극을 포함시켜 민감도를 향상시킬 수 있으며, 기판에 전극의 패턴을 새김으로 손쉽게 본 기술의 제작이 가능하며, 또한 MEMS 공정으로 제작이 가능하므로 MEMS 구조물에 센서를 추가하기 용이하다는 효과가 있다.