일반기술
산화아연계 미세 구조물 및 그 제조방법
본 기술은 산화아연계 미세 구조물을 선택적으로 성장시키는 방법 및 그 제조된 산화아연계 미세 구조물에 관한 것이며, 더욱 구체적으로 본 발명은 기판 상에 유기물 또는 무기물을 코팅하는 단계, 물리적 또는 화학적 식각 방법을 이용하여 기판 상에 특정한 위치와 일정한 간격을 가지는 패턴을 가하는 단계, 수열 합성법, 물리기상 증착법, 화학기상 증착법 등 다양한 성장방법을 통해서 상기 패턴이 가해진 위치에 선택적으로 산화아연계 미세 구조물를 성장시키는 단계를 포함하는 산화아연계 미세 구조물의 선택성장 방법 및 이로부터 제조된 산화아연계 미세 구조물을 제공한다
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 광전자
- 보유기관
- 포항공과대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-10-31
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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