일반기술

디스플레이용 ITO 전극 잉크 제조방법

현재까지 ITO 전극의 패터닝 공정은 포토리소그라피 공정을 사용하는데, 이 공정은 공정 시간이 길고, 여러 단계의 과정을 거치며, 여러 장의 마스크와 많은 에칭 용액을 사용하는 높은 공정비용을 요구한다. 이와같은 단점을 극복하고 공정 비용 및 재료의 손실을 줄일수 있는 직접 프린팅 방법을 이용하여 전극을 생성하는 방법을 고안하게 되었다.본 기술은 잉크젯 프린팅과 같은 프린팅 방법을 이용하여 디스플레이용 유리 기판에 ITO 전극을 형성하는 것에 관한 것으로, 우선 ITO 나노 파우더로부터 ITO 용액을 제조한 다음, 잉크젯 프린팅 방법을 이용하여 이를 기판 상에 형성시킴으로써 제조 공정 시간과 제조 공정 비용을 크게 단축시킬 수 있는 디스플레이용 ITO 전극 생성 방법에 관한 것이다. 그에 따라서 종래에 비하여 공정 단축을 통한 상당한 가격 경쟁력을 가질 수 있다. 또한, 저온의 열처리(sintering) 공정을 사용하므로써 유리 기판뿐만 아니라 플라스틱 기판에도 ITO 전극을 형성시킬 수 있고, 그에 따라서 향후 플라스틱 기판을 사용하는 디스플레이의 개발을 가능하게 하여 주는 유용한 효과를 얻을 수 있는 것이다.