일반기술

CIGS 박막 태양전지 제조 방법

본 기술은 마이크로파를 이용한 비정질 박막 제조 방법 및 실리콘 박막의 전이 방법을 이용하여 CIGS 박막 태양전지를 생산하는 기술이다.태양전지는 태양광을 직접 전기로 변환시키는 태양광발전의 핵심소자로 친환경 청정 에너지에 대한 수요가 급증함에 따라 주목되고 있는 차세대 에너지원이다. 특히, CIGS 박막 태양전지는 비 실리콘계 반도체인 Cu In Ga Se2 계 재료를 사용한 태양전지를 말하며 광흡수율이 높아 이론적인 발전 효율이 20%~30%로 매우 높다. 또한, 제품의 수명이 길고 우주에서도 사용이 가능하다는 장점이 있다.본 기술은 실리콘 기판 위에 실리사이드 에피택시층을 형성하고 실리사이드 에피택시층 위에 고품위 실리콘 박막을 형성한 다음 실리사이드 에피택시층을 선택적으로 제거하여 실리콘 기판으로부터 고품위 실리콘 박막을 분리하고 분리된 고품위 실리콘 박막을 이종기판에 접합시키거나 또는 고품위 실리콘 박막을 이종기판에 접합시킨 후 실리사이드 에피택시층을 선택적으로 제거하여 실리콘 기판으로부터 이종기판에 접합된 고품위 실리콘 박막을 분리하는 방법을 제공한다.본 기술을 CIGS 박막 태양전지의 제조에 적용하면 마이크로파를 이용하여 가열하기 때문에 비정질 박막의 결정화 시간을 단축할 수 있으며 넓은 면적의 시료를 균일하게 가열하므로 에너지 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 석영을 기판으로 사용하므로 제조원가를 절감할 수 있으며, 실리콘 기판을 재활용하여 동일한 전이 공정을 반복 수행함으로써 제조비용을 절감할 수 있다.