일반기술

고분자 재료 기판에 완충층에 증착된 투명 전도성 산화막 및 그 제조방법

본 발명은 고분자 재료 기판에 완충층이 증착된 투명 전도성 산화막 및 그 제조방법에 관한 것이다. 특히, 고분자 재료 기판과, 상기 고분자 재료 기판 상에 증착된 산화아연 완충층과, 상기 산화아연 완충층 상에 갈륨으로 도핑처리된 산화아연 박막(GZO 박막)이 증착된 투명 전도성 산화막 및 그 제조방법에 대한 것이다. 본 발명에 따른 투명 전도성 산화막은 고분자 재료 기판의 불안정성이 개선되어 구조적, 전기적 또는 광학적 특성 등이 우수하므로 각종 액정 디스플레이소자, 플라즈마 디스플레이소자, 유기발광소자, 태양전지 등의 유연한 디스플레이 부분의 투명전극에 유용하게 이용될 수 있다.

기술정보

기술분류
재료 > 기타 고분자재료
보유기관
인하대학교
기술유형
일반기술
등록일
2008-11-14
데이터 갱신일
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상세설명

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