일반기술

전계 가변형 BST-Ｐｂ계 파이로클로어 복합 유전체 박막과 제조 방법

기술개요 - 본 기술은 복합 유전체 박막 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 Pb를 기반으로 한 파이로클로어(Pyrochlore)구조의 유전체를 포함한 전계 가변형 Ba1-SrxTi03 박막 및 그 제조 방법에 관한 것이다.기술특징 - Ba-Sr-Ti-0의 강유전체와 Pb-X-Nb-0(여기서X는 Zn, Ni, Cu 및 Mg으로 이루어진 그룹 중에서 선택된 하나의 원소임)계 파이로클로어 구조의 복합 유전체 박막으로서 1000kV/cm의 전계 인가시 전계 무인가시의 상기 박막의 유전율에 대한 전계 인가시의 상기 박막의 유전율의 변화의 뱍분율로 정의되는 전계 가변율이 약 20 내지 70%인 것을 특징으로 하는 유전체 박막을 제공한다. 본 발명에 따르면, 높은 유전율 및 낮은 유전 손실 특성과 높은 전계 가변율을 가지며, 위상 변환기, 평판 안테나, 필터 등의 전계 가변형 캐패시터로서 사용되기에 적합한 전계 가변형 유전체 박막을 제공할 수 있다.