일반기술
백색 엑스선과 에너지 디텍터를 이용한 박막 두께 고속측정방법 및 그 장치
본 발명은 백색 엑스선과 에너지 분해능을 갖는 디텍터를 이용한 백색 엑스선 반사율 방법을 이용하여 나노스케일 박막 두께를 고속으로 측정하는 것이다. 보다 상세하게는 연속적인 파장을 포함하고 있는 백색 엑스선을 일정 각도로 박막에 조사하고 박막으로부터 반사되는 엑스선을 에너지 분해능을 갖는 디텍터를 사용하여 파장 별로 동시에 관찰함으로써 단시간 내에 박막의 두께를 알아낼 수 있는 방법이다. 본 발명은 기존의 단색 엑스선과 일반 디텍터를 이용하여 박막에 대한 엑스선 조사각도를 변화시키며 엑스선 반사율을 측정하여 박막의 두께를 얻는 방법의 가장 큰 단점인 측정 시간을 수십 배 단축시킬 수 있다. 이 방법을 이용함으로써 박막의 두께가 빠르게 변화하고 있는 여러 상황의 박막의 두께를 실시간에 나노스케일의 분해능으로 정확하게 측정할 수 있게 되었다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 재료
- 보유기관
- 광주과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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