일반기술
유기 ＥＬ 소자의 유리기판 편평도 측정장치 및 방법
본 발명은 유기 EL 소자의 진공 증착공정 진행시 유리기판의 편평도를 지속적으로 측정하여 유리기판의 처짐, 휨 현상을 실시간으로 파악할 수 있는 유기 EL 소자의 유리기판 편평도 측정장치 및 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 유기 EL 소자의 유리기판 편평도 측정장치는 고정판에 의해 일면이 고정, 지지되는 유리기판과, 상기 유리기판의 양 측면의 대향되는 위치에 각각 구비되는 레이저 발광부 및 레이저 수광부와, 상기 레이저 발광부 및 레이저 수광부와 통신연결관계를 맺으며, 상기 레이저 발광부로부터 조사된 레이저가 유리기판을 거쳐 상기 레이저 수광부에 수광되는 시간을 측정하는 측정 제어부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전자요소 기술
- 보유기관
- (재)충남테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-12-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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