일반기술

디지털 홀로그래피를 이용한 ３Ｄ측정 장치 및 ３Ｄ측정 방법

본 발명은 디지털 홀로그래피를 이용한 3D 측정장치 및 3D 측정방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 3D 측정장치는 제1 촬상부 및 제2 촬상부와; 광을 방출하는 광원과; 상기 광원으로부터 방출된 광을 상호 편광 방향이 수직인 기준광과 측정광으로 분할하여 각각 기준면과 측정 대상물로 출광하는 광 분할부와; 상기 기준면과 상기 측정 대상물로부터 반사되어 상기 광 분할부를 통과한 상기 기준광 및 상기 측정광이 상호 간섭되어 간섭광을 형성되도록 상기 기준광 및 상기 측정광을 각각 우원형편광 및 좌원형편광으로 편광하는 제1 파장판과; 상기 간섭광을 상호 180° 위상차를 가지며 각각 상기 제1 촬상부 및 상기 제2 촬상부로 향하는 제1 간섭광 및 제2 간섭광으로 분할하는 프리즘부와; 상기 제1 촬상부 및 상기 제2 촬상부 중 어느 하나와 상기 프리즘부 사이에 개재되어 상기 제1 촬상부 및 상기 제2 촬상부로 입사되는 상기 제1 간섭광 및 상기 제2 간섭광이 90° 위상차를 갖도록 상기 제1 간섭광 및 상기 제2 간섭광 중 어느 하나를 위상지연시키는 제2 파장판을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 기존의 On-axis 방식이 갖는 측정 속도 측면에서의 단점과 Off-axis 방식이 갖는 횡분해능 측면에서의 단점을 보완하여 측정 속도 및 횡분해능을 모두 만족시킬 수 있다.