일반기술

전자파 차폐특성이 우수한 퍼멀로이 코팅 강판의 제조방법

- 목적 : 강판에 전자파 차폐특성이 우수한 퍼멀로이를 진공증착 시키되 밀착성을 개선하기 위하여 퍼멀로이의 증착 전에 전자빔 가열원에 의하여 Fe를 10nm 이상 증착시키고 그 위에 퍼멀로이를 증착시켜 밀착성과 전자파 차폐특성이 우수한 퍼멀로이 코팅 강판의 제조 방법을 제공하는데 목적이 있다. - 구성 : 퍼멀로이는 Fe-Ni 합금으로 그 조성에 따라 자기특성이 좌우되고 투자율이 크게 수십만을 넘는 우수한 재료로서, 조성범위는 Fe 20~80wt.%, Ni 80~20wt.%1. Fe의 부착량 : 강판의 표면에는 두께 약 5nm정도의 산화층이 자연적으로 생성되는데 이러한 산화층은 퍼멀로이 증착시 강판과의 밀착성을 떨어뜨리는 요인이 된다. 그러나 이러한 강판의 경우 표면 산화층과 Fe와는 결합성이 우수하며 또한 철과 퍼멀로이와의 결합성도 우수하다. 이러한 Fe의 부착에 의한 퍼멀로이 코팅피막의 밀착성 향상은 Fe의 부착량이 10nm이상일 경우에 나타나므로 Fe의 부착량을 10nm이상으로 한정2. 진공도 : 10-4 Torr 이하가 바람직, 진공도가 이 이상이 되면 진공 용기 내의 산소가 Fe를 산화시켜 밀착력을 저하시킬 우려가 있기 때문3. 퍼멀로이 코팅층의 두께 : 10~400㎛가 적합, 코팅층의 두께가 10㎛ 미만이면 차폐효과가 떨어져 차폐특성이 감소하고, 400㎛보다 두꺼우면 코팅의 두께가 너무 두꺼워 크랙이 발생하여 코팅층이 벗겨질 위험이 있으며 시간이 너무 오래 걸려 경제적으로도 바람직하지 못함4. 열처리 : 700~1100℃의 온도에서 30~180분 유지, 열처리 온도가 700℃미만이거나 시간이 30분 미만이면 그 효과가 미약하고 열처리 온도가 1100℃이상이거나 시간이 180분 이상이면 경제적으로 바람직하지 못함- 종래기술 : 종래의 전자파를 차단하기 위한 기술은 알루미늄에 구리, 망간, 니켈, 철 등의 원소를 일정량 혼합함으로써 전자파 차페능을 향상시키려 하였으나, 이는 차폐성능이 떨어지며 특히 저주파 영역에서는 그 효과가 미미하다. 또 다른 기술은 제진강판을 만들어서 차폐능력을 향상시키는 기술이 제안되었지만, 이는 제조방법이 복잡하고 비용이 많이 드는 단점이 있다. 또 강판표면에 레이저 빔을 조사하여 강판표면을 개질하여 전자파 차폐성능을 향상시키는 것에 관한 기술이 있으나 이는 레이저 빔의 조절이 어려워 활용상의 문제가 있다. - 효과 : 강판에 전자파 차폐특성이 우수한 퍼멀로이를 진공증착에 의해 증착시켜 전자파 차폐용 강판을 제조하는 방법에 의해 코팅층의 밀착력이 크고 전자파 차폐특성이 우수하여 유해한 전자파를 쉽게 막을 수 있는 전자파 차폐용 강판을 경제적으로 제조할 수 있는 효과가 있다.